
PETやPI等の絶縁フィルムに接着されたステンレス箔にレジストパターニングをエッチング加工にて回路を形成したヒーターです。耐熱性が高く、薄く柔軟性に優れているため、フレキシブルに貼り付け可能です。アルミプレートに組み込み、半導体製造装置内や医療機器などに使用されています。
- 搭載製品:
- 産業用機器、医療機器、半導体製造業務用
- 材質規格:
- PI(ポリイミドフィルム)、PET(ポリエステルフィルム)
PETやPI等の絶縁フィルムに接着されたステンレス箔にレジストパターニングをエッチング加工にて回路を形成したヒーターです。耐熱性が高く、薄く柔軟性に優れているため、フレキシブルに貼り付け可能です。アルミプレートに組み込み、半導体製造装置内や医療機器などに使用されています。
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