Hot plate unit

  • ホットプレート
  • 面状ヒーター
  • 半導体製造業務用
ホットプレート（ユニット）

マイカヒーターをアルミプレートで挟み込んだヒーターです。クラス10,000のクリーンルーム内で製造し、均一な温度分布を実現しています。主に半導体製造装置内のウエハレジスト塗布乾燥用に使用されています。

搭載製品：
半導体製造業務用
材質規格：
AL、SUS、SIC
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