現行ヒーターでの容量不足のご相談

対応機器

半導体製造装置関連

課題点

装置内のガスが固形になるのを軽減したいが、現行ヒーターでは温度が足りず軽減が出来ない。

導入後の改善点

ガスが固形にならないレベルの温度を実現するため、高速昇温が可能かつワット密度が高い薄型マイカヒーターを選定し、挟み込む方式にて改善しました