半導体製造装置用ヒーターの降温時間の改善

対応機器

半導体製造装置関連

課題点

現行品はマイカヒーターを使用しているが、降温時間がかかり、冷却時間の要求に対応できず困っている

導入後の改善点

マイカヒーターより薄く、降温時間が短いポリイミドヒーターを提案することにより、お客様のお悩みを解決しました。